高性能氦检 -- 广舜检测服务全球客户氦检原理

氦检原理

概述：

氦检是把氦气作为示踪气体充注到被检验工件中，将工件泄漏出来的氦气，通过质量分析管转换成相应的微电流信号，从而确定氦的泄漏量，进而判定工件的泄漏是否合格的一种质谱检测方法。

原理：

混合泄漏氦气后的气体到达氦检仪中的离子发生器内，被灯丝发出的电子束离子化。离子经过特定电压加速后，飞向氦检仪内的磁场进行偏转。根据质量的不同，得到不同的偏转半径，筛选出氦离子到达分析管，产生微电流，经过高性能低噪放大后得到可读取的电流信号，通过标定建立漏率关系，从而确定漏率。

用氦气作示踪气体的优势

1 大气中含量少，只有5ppm。 --> 背景噪声小。

2 分子量只有4。 --> 质谱分析中，很容易与其他分子区分。

3 分子直径小。 --> 很容易穿过小孔，并存在逆扩散现象。

4 吸附能量小。 --> 排气相对容易。

5 惰性气体，不可燃，无毒性。 --> 对产品，对现场，对人员安全。

6 非氟类气体。 --> 对地球环境没有损害。

常用方法

用氦气作示踪气体的优势

信噪比：氦检设备的最重要指标

氦检与空检的测量范围比较

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