He封入回収機付リークテスト装置
He封入回収装置
搬送付全自動Heリークテスト装置
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1.作業者のレベルに左右されない半自動設備 2.高品質なリークテストの実現 3.真空チャンバー内でのヘリウムガス充填 4.小スペース高速テストの実現 5.高湿度環境に対応 6.ヘリウムガスと窒素ガス回収機構によるランニングコストの低減