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氦检原理
  • 概述:

    氦检是把氦气作为示踪气体充注到被检验工件中,将工件泄漏出来的氦气,通过质量分析管转换成相应的微电流信号,从而确定氦的泄漏量,进而判定工件的泄漏是否合格的一种质谱检测方法。
  • 原理:

    混合泄漏氦气后的气体到达氦检仪中的离子发生器内,被灯丝发出的电子束离子化。离子经过特定电压加速后,飞向氦检仪内的磁场进行偏转。根据质量的不同,得到不同的偏转半径,筛选出氦离子到达分析管,产生微电流,经过高性能低噪放大后得到可读取的电流信号,通过标定建立漏率关系,从而确定漏率。
  • 用氦气作示踪气体的优势
  • 1 大气中含量少,只有5ppm。 --> 背景噪声小。
  • 2 分子量只有4。 --> 质谱分析中,很容易与其他分子区分。
  • 3 分子直径小。 --> 很容易穿过小孔。并存在逆扩散现象。
  • 4 吸附能量小。 --> 排气相对容易。
  • 5 惰性气体,不可燃,无毒性。 --> 对产品,对现场,对人员安全。
  • 6 非氟类气体。 --> 对地球环境没有损害。
  • 常用方法
    • 箱式真空法
    • 背压法
    • 积累法
    • 吸枪法
    • 喷氦法
    用氦气作示踪气体的优势
    常规可检测漏率 极限可检测漏率 准确性 适用场景
    箱式真空法 工件的整体漏率 10-7mbar.l/s 10-12mbar.l/s 准确 具备注氦条件的工件检漏
    背压法 10-5mbar.l/s 10-9mbar.l/s 10-12mbar.l/s 准确 完全密封件的检漏
    整体吸枪法 工件的整体漏率 10-7mbar.l/s 10-12mbar.l/s 准确 漏率较大,且不适合真空法的工件检漏
    喷氦法 工件的整体漏率 10-5mbar.l/s 10-9mbar.l/s 不准确 管道
    局部吸枪法 工件的整体漏率 10-4mbar.l/s 10-6mbar.l/s 不准确 空检替代、不良品漏点排查
    信噪比:氦检设备的最重要指标
    氦检与空检的测量范围比较